Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀

產品概要：

KOSAKA ET200A是KOSAKA新推出的經濟型臺式兩用機型：6寸臺階儀（支持升級到8寸載物臺）和粗糙度輪廓儀?？筛鶕脩粜枨笕我饨M合，是一款帶有專用控制器的高精度、高性能的表面粗糙度測量儀器。

基本信息：

極佳重復性與線性度

采用直動式檢測方式，可避免圓弧補正誤差，可避免Bearing間隙誤差；臺階測定重復性：1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm；Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

直動式檢出器構造

直動式檢出器測量邊沿效應

重復測量數據 (10 times)

Taylor Hobson 標準樣

直動式檢出器測量邊沿效應

VLSI SHS-9400QC

VLSI SHS-440QC

實時監控測量位置

超高直線度國際認證數據

位移光柵尺與時間取樣

形狀及粗度解析

粗度規范對應：可對應各種國際新舊標準規范，測量參數多達60種；可測量臺階及傾斜度。

超大測定力范圍

測定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意設定可測定軟質材料面，如:COLOR FILTER、SPACER、PI等。

觸針保護蓋板及方便更換

技術優勢：

1、設備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震

2、獨特的直動式傳感器設計

3、Z方向重復性1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

4、Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

5、樣品臺的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

6、高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向測量長度大至100mm，Y方向可移動150mm

7、自帶三維測量功能

應用方向：

主要用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細形狀臺階／粗度測定，對多種零件表面的粗糙度，波紋度以及原始輪廓進行多參數評定，另外也可利用微小測定力來對應軟質樣品表面測定。

 

Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀

產品結構：

花崗巖低重心設計：

Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀

線性度：

Vertical linearity(垂直線性度) : ±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

線性度計算公式： 誤差范圍 / Z方向測量范圍

測量設備型號 : ET-150系列

測試樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認證的標準樣品

Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um

VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm

VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

高分辨率：

 

Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀

Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀