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Elite Etch Cu 化學開封機
產品概要:
RKD的Elite Etch Cu是一臺可為銅線開封的化學開封機,通過集成了先進的特點來實現更高的產能。這臺開封機可以通過將精密分配微等分的硝酸、硫酸或混酸到樣品器件上,可開封直徑為0.8mil銅線的塑封料。
基本信息:
每一次微等分的酸被輸送到刻蝕腔內,由于泵產生的足夠大的壓力將會創造出非常大的湍流,可以極大的提高封裝材料的去除效率。對酸溫度的精密控制,并結合更高的分配效率使得對于銅線器件的開封不會產生引線或金屬化損傷。特殊設計的酸熱交換器能夠在高達8ml每分鐘的流量內精的確將酸溫度控制在10℃到250℃范圍內。即使是在低溫度時,高的酸脈沖率也能獲得合理的刻蝕時間。
技術優勢:
Elite Etch Cu配置了一個酸控制器刻蝕頭,它是由優質碳化硅材料制造的,具有很強的耐酸性??涛g頭設計用于降低在開封工藝結束時殘留在刻蝕頭上殘留酸的煙化現象,對于操作員更加安全,并且對酸的清潔也更方便。器件壓制組件(壓桿芯頭)是氣動激活的推桿,壓桿芯頭正常狀態時縮回,當安全罩完全關閉時伸出,當刻蝕罩蓋下以后,壓頭自動從上到下直線移動,沿垂直方向直接將固定樣品或治具安全地固定刻蝕頭上,可以完全消除被刻蝕器件和治具的移動。
Elite Etch Cu 在瓶子容器和開封器之間的所有流體接口都采用雙重密封。瓶子容器組件和刻蝕機內部都配置了流體傳感器,如果出現任何酸瓶或內部裝置的酸泄漏,都會立即向操作員發出漏酸警 報。瓶子容器采用了通用的旋轉互聯,使得酸瓶更換非常簡單,盡量避免接觸殘酸。
Elite Etch Cu開封機采用自動高低壓氣體轉換系統和安全蓋內部安全氣壓補充,確保操作員安全,并且更加節省N2氣消耗。設備采用光 纖感應傳感器檢測開封時刻蝕罩蓋上后的密合度。廢酸收集采用了獨特的冷卻熱交換系統,可將廢酸冷卻至90℃及以下,用于將廢酸收集在一個廢酸瓶內,而無需兩個廢酸瓶以及硝酸硫酸轉換閥。單獨的手持式鍵盤控制,可以在通風廚外面 進行控制避免酸對控制面板和電路的腐蝕。
應用方向:
這臺開封機可以通過將精密分配微等分的硝酸、硫酸或混酸到樣品器件上,可開封直徑為0.8mil銅線的塑封料。