國內外半導體測試全自動探針臺廠商都有哪些？返回列表

注：這里我們主要以射頻探針臺為例總結探針臺的應用。

以RF微波射頻在片測試為例，在片測量是指使用探針直接測量晶圓(Wafer)或裸芯片(Chip)的微波射頻參數。相比于常規的鍵合/封裝后的測量，微波射頻在片測量消除了封裝及鍵合絲引入的寄生參數，可以更準確的反應被測芯片的射頻特性undefined。微波射頻在片測量廣泛應用于器件建模、芯片檢驗等領域。

隨著5G、汽車雷達等技術的發展，在片測試也進入了亞毫米波/太赫茲頻段，對在片測試技術提出了更高的挑戰。

在片測量系統

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微波射頻在片測量系統一般由射頻/微波測量儀器和探針臺及附件組成。 微波射頻在片測量系統中，探針臺和探針用于芯片測量端口與射頻測量儀器端口(同軸或波導)之間的適配;微波射頻測量儀器完成各項所需的射頻測量。

探針臺（Probe Station）：

探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業重要的檢測裝備之一，其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量undefined，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合，探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來，在進入后序工序前予以剔除，大大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。

半導體測試可以按生產流程可以分為三類：驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環節需要使用測試儀和探針臺，測試儀/機用于檢測芯片功能和性能，探針臺實現被測芯片與測試機的連接，通過探針臺和測試機的配合使用對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試undefined，可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。

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