TS2000 Probe Systems

產品概要：

MPI TS2000的專用設計可滿足高級半導體測試市場的需求。該系統與所有MPI系統附件完全兼容，主要設計用于解決故障分析，設計驗證，IC工程，晶圓級可靠性以及對MEMS、高功率、RF和mmW器件測試的特殊要求。

基本信息：

超大面積工作臺

TS2000系列提供了易于使用的大型探針座放置臺面，以適應多達12套直流或4套射頻的微定位器，集成了負載拉力調諧器或更大面積的微定位器，使得TS2000系統成為射頻和毫米波測量的理想選擇。

快速的晶圓裝載

寬大的前門通道可輕松裝載/卸載100、150、200mm的晶圓，及微小器件的快速更換，兩只陶瓷專用射頻校準AUX卡盤位于前面，可以很方便地進行裝卸。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探針系統中，并基于數十年的經驗和客戶互動而設計，隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀。

溫控系統

便捷式的觸摸屏來操作熱卡盤(從20°C或環境溫度到最高300°C)，實時顯示卡盤溫度，該觸摸屏位于操作員前方的便利位置，以實現快速的操作和即時的反饋。

探針卡和微型定位器

多達12套DC或4套DC和4套射頻微型定位器，及4.5英寸的標準探針卡夾具，使該系統成為設計驗證和(或)故障分析工作的理想選擇。

整合式DarkBox

TS2000-D是集成了DarkBox的TS2000。該系統專為各種屏蔽光電磁等敏感器件而設計，嵌入式的互鎖，LED照明和標準化接口面板而設計，是受光和激光安全保護的測試環境的首選。

儀器集成

可選的儀器架可縮短電纜長度，并提高 RF和mmW 應用中的測量動態性和方向性。

軟件套件SENTIO®

MPI自動工程探針系統由獨特且革命性的多點觸摸操作控制SENTIO®軟件套件，簡單直觀的操作節省了大量的培訓時間。“滾動”，“縮放”，“移動”命令模仿了現代智能移動設備，使每個人都可以在短短幾分鐘內成為專家。集成式的RF應用系統，無需切換到另一個軟件平臺——MPI RF校準軟件程序QAlibria®與SENTIO®完全集成在一起，遵循單一操作概念方法，易于使用。

技術優勢：

1、模塊量測 ：DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

2、射頻量測 ：至高 110 GHz

3、高功率量產測試 ： 至高 10 kV / 600 A

4、開放式溫區：25°C至 300 °C

5、內置被動式防震系統

6、可乘載達 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 標準探針卡夾具

應用方向：

適用于多種量產型晶圓量測應用。

 

 

TS2000 Probe Systems

隔振系統

TS2000結合了兩種類型的隔振解決方案，總占地面積較小，可以在不同的實驗室測試環境中更好地運行。

TS2000 Probe Systems

TS2000 Probe Systems

TS2000 Probe Systems