英鉑科學助力中科院微電子所搭建SiC器件高溫600℃電學測試返回列表

產品介紹：

YB-150W手動探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。

技術優勢：

1、單機多應用設計

• 適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學材料量測應用，如射頻和 DC、IV/CV 測試晶圓級可靠性

2、具備工效學設計

• XY 軸微調設計/Y 軸快速導入導出/載物臺設計

• 堅固且可乘載多達 6 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作臺

3、彈性選配與升級性

• 另有多種晶圓載物臺可做升級，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW，超高溫載物臺升級，微定位器、光學顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統可搭載，以完全支援您的應用需求

4、高壓人機安全防護設計

• Platen 底部特征聚合物高壓防護設計

• Chuck 獨特安全隔離防護設計

•采用德國 PEEK 雙層高壓防護環套設計的針桿（標準 SHV Coaxial 接口）通用

keithley&keysight 高壓儀表

• 紅外感測 interlock 安全互鎖機制

應用方向：

該系統主要應用于集成電路失效分析、晶圓可靠性認證、元器件特性量測、塑性過程測試(材料特性分析)、IC封裝階段打線品質測試、液晶面板的特性測試等領域。