英鉑科學助山西北大碳基研究院搭建多功能低漏電測試系統返回列表
產品介紹:
MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有創新功能的200mm自動化晶圓測試系統,其包含獨特的側面自動裝卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲環境。
產品概要:
1、ShielDEnvironment
MPI ShielDEnvironment是一個高性能的微屏蔽暗箱,可為超低噪聲,低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境
2、自動化晶圓裝載系統
該功能提供了非常方便的晶圓裝載,并且易于針對自動程序進行預對準,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓,針對高低溫環境下可提高測試效率
3、ERS獨特的 AC3冷卻技術
MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統,可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment,可大幅減少30%至50%的空氣消耗
4、側視影像系統(VCE)
借助MPI8寸探針臺獨特的自動側視– VCE影像系統可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸,使用DC或RF等探針卡非常安全
產品優勢:
1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
3、失效分析 - 探針卡 / 節間探測
4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試
5、高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A
6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境,專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境
7、支持飛安級低漏電值量測
8、支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C